Volume 203, Issue 1 pp. 107-112
Research Article

Grain Boundary Scattering in Micro- and Nanocrystalline Thin Semiconducting Films

E. Gerlach

E. Gerlach

I. Physikalisches Institut, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule, D-52056 Aachen, Germany

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Abstract

en

We study grain boundary scattering in a thin (two-dimensional) semiconducting film adjacent to dielectric materials. As examples we discuss an inversion layer at a Si surface and a semiconducting Si film embedded in non-conducting Si. In particular we find that the scattering is reduced by image charges by about a factor of 2.

Abstract

de

Wir untersuchen Korngrenzenstreuung in einem dünnen (zwei-dimensionalen) Film im Kontakt mit dielektrischen Materialien. Als Beispiele werden eine Inversionsschicht an einer Si-Oberfläche und ein halbleitender Si-Film in nichtleitendem Si diskutiert. Es zeigt sich, daß die Korngrenzenstreuung durch Bildladungen etwa um einen Faktor 2 reduziert wird.

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