Original Paper
Full Access
A modified heater system for RF-Czochralski equipments
Abstract
enThe temperature gradients in a Czochralski-type crystal growth equipment with induction heating can be advantageously influenced by additionally heating the growing crystal and the crucible bottom during the pulling procedure. An experimental solution is presented for both afterheater and bottom heater coupled to the same induction coil as the crucible.
Abstract
deDie Temperaturgradienten in einer induktionsbeheizten Czochralski-Kristallzüchtungsanlage können durch zusätzliche Heizung des wachsenden Kristalls und des Tiegelbodens vorteilhaft beeinflußt werden. Eine experimentelle Lösung wird vorgestellt, bei der sowohl der Nachheizer als auch der Bodenheizer an die Induktionsspule ankoppeln.
