Herstellung von Nanostrukturen mittels Atomlagenabscheidung

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Max-Planck-Institut für Mikrostrukturphysik, Weinberg 2, D-06120 Halle (Saale), Germany

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First published: 29 October 2008

https://doi.org/10.1002/cite.200800107

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Bluesky

Abstract

Die kontrollierte Manipulation von Materialien auf einer Größenskala bis in den Nanometerbereich ist heutzutage ein wesentlicher Bestandteil moderner Technologie. Dieser Übersichtsartikel behandelt eine Methode, die zum kontrollierten Dickenwachstum von Elementen und Verbindungen auf zahlreichen Substraten verwendet wird.