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IssueVakuum in Forschung und Praxis: Volume 32, Issue 3
Special Issue:Sputtertechnik
3-51June/July 2020
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Titelbild
Editorial
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Wenn Vakuum zur Leidenschaft wird, und wo man darüber berichten darf
- Page: 3
- First Published: 18 June 2020
Inhalt
Magazin
Dünne Schichten
no
PVD-Sputteranlagen im ständigen Wandel: Anforderungen und Lösungskonzepte für flexible Inline-Anlagen mittlerer Substratgrößen
- Pages: 16-24
- First Published: 18 June 2020
Open Access
oa
TiAlN-Beschichtungen mittels hoch-energetischer Kathodenzerstäubung: Eine Studie zur Auswirkung von Eigenspannungen auf die Leistungsfähigkeit von TiAlN-Dünnschichtsystemen
- Pages: 26-32
- First Published: 18 June 2020
Vakuum
no
Guerickes Versuch mit den Großen Magdeburger Halbkugeln und den Pferden: Anmerkungen zur Geschichte und zum Experiment
- Pages: 33-39
- First Published: 18 June 2020
Anwenderbericht
no
Arc-PVD-Beschichtung profitiert von Schrauben-Vakuumpumpen: Energieeffizienter und platzsparender Ersatz für einen dreistufigen Vorvakuumpumpstand
- Pages: 40-41
- First Published: 18 June 2020
no
Fluorination of plastics with intelligent dry screw vacuum pump: Integrated controls and industry 4.0 capabilities ensure service-related cost savings and consistent results
- Pages: 42-43
- First Published: 18 June 2020