Physical Inorganic Chemistry
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ChemInform Abstract: EQUILIBRIUM CALCULATIONS FOR THE SILICON-HYDROGEN-CHLORINE SYSTEM FROM 300 TO 3000 K
First published: June 5, 1984
ChemInform Abstract
Thermodynamische Analysen von Dampfphasen-Gleichgewichts-Partialdrücken und Umwandlungen für 20 chemische Spezies (Silane, Chlorosilane etc.) und deren Mischungen, u. a. bez. Ausb. für die Kondensation von festem oder flüssigem Si [im Hinblick auf die Halbleiter-Technologie (epitaktische Schichten usw).
