Physical Inorganic Chemistry
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ChemInform Abstract: EFFECT OF IRON, TITANIUM, AND HAFNIUM ON SECOND-STAGE NITRIDING OF SILICON
First published: December 1, 1981
Abstract
Die Reaktion von N2 und geschmolzenem Si (second-stage Nitridierung) ist ein diffusionsbestimmter Prozeß, dessen Schritte die Auflösung des N2 in der Schmelze, seine Diffusion zur wachsenden Spitze des Kristalls und das Wachstum sind.
ChemInform Abstract
Die Reaktion von N2 und geschmolzenem Si (second-stage Nitridierung) ist ein diffusionsbestimmter Prozeß, dessen Schritte die Auflösung des N2 in der Schmelze, seine Diffusion zur wachsenden Spitze des Kristalls und das Wachstum sind. Zusatz von 1% Ti oder Hf, die als N2-Träger wirken, beschleunigen die Reaktionsgeschwindigkeit, während 1% Fe die Reaktion nicht beeinflußt.
