Preparation of TlBaCaCuO Films by Annealing DC-Sputtered BaCaCuO Films in Thallium Oxide Vapours
Helmholtzweg 4, O-6900 Jena, FRG.
Helmholtzstr. 20, O-8027 Dresden, FRG.
Abstract
enSuperconducting Tl BaCaCuO films are prepared from Tl-free precursor films and thallium-oxide vapours by an ex situ high-temperature annealing. The BaCaCuO films are deposited by high-rate sputtering from a metallic alloy target for the first time. The superconducting properties of the films on various substrates are investigated in dependence on sputter and annealing conditions. The annealed films are highly oriented with the c-axis perpendicular to the film surface and have critical temperatures Tc0 (R = 0) up to 114 K and critical current densities up to 4 × 104 A/cm2 at 77 K.
Abstract
deSupraleitende TlBaCaCuO-Schichten werden aus thalliumfreien Precursorschichten durch Tem-perung in Thalliumoxiddampf hergestellt. Die Precursorschichten werden erstmals mittels Hoch-ratesputterns von einem Metallegierungstarget abgeschieden. Die supraleitenden Eigenschaften der Schichten werden in Abhängigkeit von den Sputter- und Temperbedingungen untersucht. Die nachgetemperten Schichten auf verschiedenen Substraten sind texturiert und erreichen kritische Temperaturen bis zu 114 K und kritische Stromdichten bis zu 4 × 104 A/cm2 bei 77 K.
