Preparative Inorganic Chemistry
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ChemInform Abstract: ON THE NATURE OF FIXED OXIDE CHARGE
First published: July 25, 1978
Abstract
Bei der Bildung einer Oberflächen-Oxidschicht auf Si wird in der SiO, -Si-Grenzfläche eine fixierte Ladung induziert, als deren Ursprung im Übergangsbereich entsprechend der Reaktion Aentstehende Komplexe angesehen werden könnten.
ChemInform Abstract
Bei der Bildung einer Oberflächen-Oxidschicht auf Si wird in der SiO, -Si-Grenzfläche eine fixierte Ladung induziert, als deren Ursprung im Übergangsbereich entsprechend der Reaktion Aentstehende Komplexe angesehen werden könnten. Die Konzentration des nach dieser Modell- Vorstellung mit der fixierten Ladung zu identifizierenden (Si-O) -Komplexes ist dabei proportinal der Sauerstoffüberschuß-Konzentration und der Dichte der nichtoxidierten Si-Si-Bindungen in der Übergangsregion.
